URE-2000/35型紫外光刻机是集光、机、电一体用于微细加工的精密设备，由曝光光学系统、对准显微镜、工件台、电控系统、单片机系统和视频图像系统等主要分系统组成。
(1)汞灯电源采用350W直流高压汞灯，曝光波长为365nm；
(2)对准采用双目双视场对准显微镜，在目镜中既可单独观察一个视场的像，又可同时观测两个视场的像，目镜物镜组合最大倍数为400倍；
(3)光刻精度<1μm。
