双温区滑轨管式炉(CVD)

配置：双温区滑轨管式炉一套(带三路流量控制系统一套氮气500sccm，氩气500sccm，氢气50sccm)，KF25抽气口真空泵一套，法兰改装(两端全部改装，每端三个出气口其中包括KF25抽气接口，1/4,接口出气口，以及真空压力表出气口和宝塔抽气接口)

1、壳体结构：双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度小于60度；炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，减少热量的损失；内炉膛表面涂有美国进口1750度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

2、功率：2.5KW 

3、电压：AC 220V  50Hz/60Hz

4、工作温度：最高1200℃(＜1h)，连续工作1100℃

5、最大升降温速率：20℃/min

6、控温精度：±1℃

7、真空度：10-2torr(机械泵)，10-5torr(分子泵)

8、漏气率：＜5mtorr/min

9、升温速率:  ≤10℃/min 

10、炉管尺寸和法兰：纯度99.8％ 的高纯石英管；包括不锈钢真空密封法兰，针阀，和压力表

11、扩展接口：标配KF25 adapter转接头；标配VCR双卡套接头，炉子两端装有法兰支架支架长度根据炉管尺寸定做！(非标定制)

12、温控系统：PID智能化温度控制器，可以设置30段升降温程序；每个温区可以独立的设置，带有过热和断偶保护

13、控制方法：PID自动控制