双高真空PECVD与磁控溅射仪(双超所)

湖南省超微结构与超快过程重点实验室设备

    可用于制备各种单层或多层的半导体膜、反应膜、绝缘膜、磁记录膜、光记录膜、透明导电膜、高温超导膜等，并可在异形体表面进行镀膜。适合于科研院所的教学研究以及中小型企业镀膜生产之用。